Sulfur Hexafluoride CAS: 2551-62-4 SF6 99,999% 5N Gas especial de gran puresa
Ús del producte
L’hexafluorur de sofre és un gas inert inert incolor, inodor, no tòxic, no inflamable amb un pes molecular de 146,07, un punt de fusió de -51 ° C i un punt d’ebullició de -64 ° C. L’estructura molecular de l’hexafluorur de sofre està disposada en un octaedre, la distància d’enllaç és petita i l’energia d’enllaç és alta, de manera que la seva estabilitat és alta. L’hexafluorur de sofre d’alta puresa de grau electrònic és un gravat ideal. L’hexafluorur de sofre es pot utilitzar per gravar la superfície del silici i eliminar les membranes orgàniques o inorgàniques en materials semiconductors i es pot utilitzar en la fabricació de fibres òptiques.
Especificació de qualitat
|
Items
|
Units
|
Index
|
|
（SF6）Sulfur
hexafluoride
|
Vol./%
|
≥99.999%
|
|
Oxygen+Argon（O2+Ar）≤
|
Vol.ppm
|
≤2
|
|
Nitrogen（N2）≤
|
Vol.ppm
|
≤2
|
|
Carbon tetrafluoride（CF4）≤
|
Vol.ppm
|
≤1
|
|
Carbon monoxide（CO）≤
|
Vol.ppm
|
≤0.5
|
|
Carbon dioxide（CO2）≤
|
Vol.ppm
|
≤0.5
|
|
Methane（CH4）≤
|
Vol.ppm
|
≤0.5
|
|
Moisture（H2O）≤
|
Vol.ppm
|
≤3
|
|
Acidity（以HF计）≤
|
μg
|
≤0.1
|
|
Hydrolytic fluoride（以HF计）≤
|
μg
|
≤0.8
|
|
Total impurity content≤
|
μg
|
≤10
|
|
Particle
|
μg
|
Supply and demand agreement
|
Aplicació
HEXAFLUORIDE DE SULFUR DE GRADA ELECTRONIC HEXAFLUORIDE és un agent de gravat electrònic ideal, que s’utilitza àmpliament en el camp de la tecnologia de microelectrònica, s’utilitza com a agent de gravat i neteja de plasma en la fabricació de grans circuits integrats com ara xips informàtics i LCD. L’hexafluorur de sofre s’utilitza com a font de fluor per produir vidre dopat amb fluor en la preparació de fibra òptica. A més, l’hexafluorur de sofre també es pot utilitzar com a gas aïllant, agent traçador i refrigerant.
Embalatge 、 Emmagatzematge
L’hexafluorur de sofre s’emmagatzema en cilindres sense costura estàndard, el volum generalment del cilindre és de 40L, el tipus de cilindre és CGA590 QF-2 i la pressió del cilindre és de 8,0mPa i 12,5mpa. Les especificacions específiques d’embalatge es poden personalitzar segons els requisits de l’usuari. L’hexafluorur de sofre s’emmagatzema en un magatzem ombrívol i ventilat allunyat de la font de foc i de calor, la temperatura del magatzem no excedeix els 30 ℃. S’ha d’emmagatzemar per separat amb agent inflamable (combustible) i oxidant. L’àrea d’emmagatzematge s’ha d’equipar amb equips d’emergència per a emergències.
Contact Now
