Boron11 triclorur semiconductor dopant semiconductor gravat sec
Introducció del producte
A la temperatura i la pressió normals, el triclorur de bor (BCL 3 ) és un gas de fum incolor, que és inflamable, punxent i àcid. El triclorur de bor es descompon en àcid clorhídric i àcid bòric i allibera molta calor que es troba amb aigua, genera fum a l’aire humit a causa de la hidròlisi i BCl 3 es descompon en àcid clorhídric i èster àcid bòric en alcohol. El triclorur de boro té una forta capacitat de reacció i pot formar diversos compostos de coordinació. El triclorur de bor pot reaccionar amb el vidre i la ceràmica quan s’escalfa, i també reacciona amb molts compostos orgànics per formar una varietat de compostos d’organoboron. El triclorur Boron11 d’alta puresa s’utilitza principalment per al dopatge de difusió en el procés de fabricació de dispositius semiconductors (silici). Les impureses de bor es generen mitjançant la descomposició de Bcl 3 i es difonen cap al silici per formar semiconductor de tipus P a alta temperatura. BCL 3 també es pot utilitzar per a gravat sec de Al, Mosi 2 , Tasi 2 , Tisi 2 , WSI i altres materials.
Especificació de qualitat
|
items
|
Units
|
Index
|
|
Boron11 Trichloride≥
|
Vol.%
|
99.9995
|
|
Oxygen+Argon<
|
Vol.ppm
|
1
|
|
Nitrogen<
|
Vol.ppm
|
4
|
|
Ca
rbon monoxide<
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Carbon dioxide<
|
Vol.ppm
|
0.2
|
|
Methane <
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Total impurity content≤
|
Vol.ppm
|
5
|
|
Metal ion
|
Vol.ppm
|
Supply and demand agreement
|
Aplicació
El triclorur de bor es pot utilitzar per fabricar un boró pur, catalitzador per a la síntesi orgànica, agent de flux per a la descomposició de silicats, i també es va utilitzar com a additiu de desoxiditzador, nitrurs i carburs en el refinament de l'aliatge. El triclorur alt pur de bor11 s’utilitza principalment en dopatge de difusió, implantació d’ions, gravat sec i altres processos en dispositius semiconductors i fabricació de circuits integrats.
Embalatge i emmagatzematge
El triclorur Boron11 s’omple al cilindre. El cilindre ple de triclorur Boron11 s’ajusta a les disposicions rellevants de GB14193. Les especificacions d’envasos inclouen 10L i 47L.El producte s’emmagatzema en un magatzem ombrívol, sec i ventilat per sota dels 60 ℃ . Està prohibit exposar -se al sol i allunyar -se de les fonts de calor. El paquet s’ha de segellar i s’ha d’emmagatzemar per separat amb alcali i altres articles perillosos.
Contact Now
